(Les) interactions ions énergétiques-solides [ Livre] : applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces / Anne-Marie, Durand / Aimé, Richardt

Auteur principal: Richardt, Aimé, 1934-....Co-auteur: Durand, Anne-MarieLangue: Français ; de l'oeuvre originale, Français.Publication : Paris : Ed. In Fine, 1997Description : 383 p. ; 25 cmISBN: 2840460475.Classification: 544.6 ElectrochimieRésumé: Cet ouvrage présente en détail quatre domaines d'applications des interactions ions énergétiques-solides : les dépôts de couches minces par pulvérisation cathodique et évaporations assistées par faisceau d'ions (ARE, IAD), les modifications des propriétés de couches minces par bombardement d'ions (neutres ou réactifs) pendant le dépôt , les modifications de surfaces avant traitements, et les gravures par bombardement d'ions de gaz neutres ou réactifs. Il combine de solides bases théoriques (particulièrement sur la création et l'emploi des plasmas, et les interactions ions-solides) avec de multiples conseils et applications pratiques pour les dépôts de nombreux matériaux (ZnO, BGO, PbTiO3, PZT, ITO, etc)..Sujet - Nom commun: Surfaces (technologie) | Couches minces | Vide (technologie) | Pulvérisation cathodique | Interactions ion-ion
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ENS Rennes - Bibliothèque
Sciences de l'ingénieur
544.6 RIC (Browse shelf) Available 544.6 Electrochimie 028278

Cet ouvrage présente en détail quatre domaines d'applications des interactions ions énergétiques-solides : les dépôts de couches minces par pulvérisation cathodique et évaporations assistées par faisceau d'ions (ARE, IAD), les modifications des propriétés de couches minces par bombardement d'ions (neutres ou réactifs) pendant le dépôt , les modifications de surfaces avant traitements, et les gravures par bombardement d'ions de gaz neutres ou réactifs. Il combine de solides bases théoriques (particulièrement sur la création et l'emploi des plasmas, et les interactions ions-solides) avec de multiples conseils et applications pratiques pour les dépôts de nombreux matériaux (ZnO, BGO, PbTiO3, PZT, ITO, etc).

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