Handbook of advanced plasma processing techniques [ Livre] / Randy J., Shul / Stephen J., Pearton
Langue: Anglais ; de l'oeuvre originale, Anglais.Publication : Berlin : Springer, 2000Description : VIII-653 pages ; 24 cmISBN: 9783540667728.Classification: 532.2 Mécanique des fluidesSujet - Nom commun: Technique des plasmas | Gravure par plasma | Projection au plasma | Circuits électroniques -- Conception et construction| Current location | Call number | Status | Notes | Date due | Barcode |
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| ENS Rennes - Bibliothèque Magasin (archives) | 532.2 SHU (Browse shelf) | Available | 532.2 Mécanique des fluides | 028668 |