Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume III, From MEMS to bio-MEMS and bio-NEMS : manufacturing techniques and applications [ Livre] / Marc J., Madou

Auteur principal: Madou, Marc J.Langue: Anglais ; de l'oeuvre originale, Anglais.Mention d'édition: 3rd ed.Publication : Boca Raton : CRC Press, 2012Description : 1 vol. (XIII-636 p.) ; 29 cmISBN: 9781420055160.Classification: 620.2 Procédés de fabricationSujet - Nom commun: Nanotechnologie | BioMEMS
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Sciences de l'ingénieur
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