Notice bibliographique
Livre
Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering / Sergey Edward Lyshevski .- Boca Raton : CRC Press, cop. 2001 .- , 338 p. ; 25 cm .- (Nano- and microscience, engineering, technology and medicine series)
Notes bibliogr. en fin de sous-chapitre. Index. Index, bibliogr..
ISBN : 0849309166
Auteur(s) : Lyshevski, Sergey Edward /
Sujet(s) :
Systèmes microélectromécaniques
Dispositifs électromécaniques