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1.
Techniques de fabrication des microsystèmes, 1, Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces [ Livre] / sous la direction de Michel de LabacheleriePublication : Paris : Hermès science publications, 2004Description : 1 vol. (327-IV p.) ; 25 cmDisponibilité : Exemplaires empruntables: [621.38 LAB] (1).
2.
Électromécanique / par Marcel Jufer [ Livre]Publication : Lausanne : Presses polytechniques et universitaires romandes, [Paris : [diff. Geodif], 2003Description : XII-384 p. ; 24 cmDisponibilité : Exemplaires empruntables: [621.3 TRA] (2).
3.
Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering / Sergey Edward Lyshevski [ Livre]Publication : Boca Raton : CRC Press, cop. 2001Description : 338 p. ; 25 cmDisponibilité : Exemplaires empruntables: [621.38 LYS] (1).

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